Molekylen av SiF4 har en tetraedrisk form. Detta beror på att kiselatomen har fyra valenselektroner, och var och en av dessa elektroner delas med en fluoratom. De fyra fluoratomerna är arrangerade runt kiselatomen i en tetraedrisk form, där varje fluoratom upptar ett av de fyra hörnen av en tetraeder.