Nanobroar är små strukturer som består av en smal remsa av material som förbinder två större materialstycken. De används ofta i elektroniska enheter för att kontrollera strömflödet. Men traditionella metoder för att skapa nanobryggor är komplexa och tidskrävande, vilket gör dem opraktiska för massproduktion.
Den nya tekniken som utvecklats vid Berkeley använder en process som kallas "självjusterad nanotrådslitografi" för att skapa nanobryggorna. Denna process börjar med avsättningen av ett tunt lager av material, såsom kisel eller metall, på ett substrat. Materialet mönstras sedan med hjälp av en litografisk process för att skapa en serie smala linjer. Dessa linjer etsas sedan med hjälp av en reaktiv jonetsningsprocess (RIE) för att bilda nanobryggorna.
Fördelen med denna teknik är att den möjliggör exakt placering av individuella nanobryggor med en hög grad av noggrannhet. Detta är viktigt för utvecklingen av enheter i nanoskala, eftersom den exakta placeringen av komponenterna är avgörande för korrekt funktion.
Forskarna demonstrerade tekniken genom att skapa en serie nanobryggor med olika bredder och längder. De fann att nanobryggorna kunde placeras exakt med en tolerans på mindre än 10 nanometer. Denna noggrannhetsnivå är tillräcklig för utvecklingen av många enheter i nanoskala.
Forskarna tror att den självjusterade nanotrådslitografin potentiellt kan minska kostnaden och komplexiteten för tillverkning av enheter i nanoskala. Detta kan öppna upp nya möjligheter för utvecklingen av ett brett utbud av elektroniska enheter i nanoskala, inklusive transistorer, sensorer och NEMS.
Forskningen publicerades i tidskriften Applied Physics Letters.
