Det första elektronmikroskopet byggdes av ernst Ruska och Max Knoll i 1931 vid Technical University of Berlin .

Medan båda forskarna bidrog avsevärt, ernst Ruska krediteras i allmänhet som den primära uppfinnaren. Han fick Nobelpriset i fysik 1986 för sitt arbete med elektronoptik och för sin design av det första elektronmikroskopet.